TTJ20 最大臂展1067.2 mm泛亚体育(中国)官方网站分类晶圆搬运泛亚体育(中国)官方网站安装方法地面系列TTJ 系列 采用伸缩结构,可兼顾向低位传递和向高位输送。 ・单手臂双手 ・Z轴行程范围:0~740mm ・End Effector类型:真空吸附/边缘夹持 ・对应晶圆尺寸:8英寸、12英寸 ・对应FOUP数:最多3FOUP 应用分类晶圆搬运支持的控制器F60