NX420 最大臂展736 mm泛亚体育(中国)官方网站分类晶圆搬运泛亚体育(中国)官方网站安装方法地面系列NX 系列 通过紧凑的手臂设计,可以节省安装空间。 ・单手臂双手 ・Z轴行程范围:0~330mm ・End Effector类型:真空吸附/边缘夹持 ・对应晶圆尺寸:8英寸 ・对应FOUP数:最多2FOUP 应用分类晶圆搬运支持的控制器F60